汎用型自作PCまとめ

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ナノインプリント

コメント(17)  
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1: へっぽこ立て子@エリオット ★ 2023/10/15(日) 00:59:41.53 ID:yTyjmVaZ
 キヤノン株式会社は、独自の「ナノインプリント」(NIL)技術を採用した半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を発売した。

 半導体製造でもっとも重要となるのが、回路パターンをウェハに転写する露光装置だが、ウェハ上に塗布されたレジスト(樹脂)に光を照射して回路を焼き付ける手法が一般的。従来の手法では光学系という介在物があるため、プロセスノードの微細化は光源の波長の微細化に依存していた。

 今回キヤノンが開発したNILでは、ウェハ上のレジストに、回路パターンを刻み込んだマスク(型)を押し付けて回路パターンを形成する。光学系を省くことでマスク上の微細な回路パターンを忠実に再現でき、複雑な2次元/3次元回路パターンを1回のインプリントで形成できるようになる。

□関連リンク
ナノインプリントリソグラフィ技術を使用した半導体製造装置を発売 シンプルな仕組みで微細な回路パターン形成を実現し幅広い半導体製造を実現 | キヤノングローバル
https://global.canon/ja/news/2023/20231013.html
ナノインプリントリソグラフィ | キヤノングローバル
https://global.canon/ja/technology/nil-2023.html

(続きはこちら)
https://pc.watch.impress.co.jp/docs/news/1538780.html

2: 名刺は切らしておりまして 2023/10/15(日) 01:34:02.14 ID:UrDdkqL9
消費電力が10分の1になるとかどうでもいい
本体価格でASMLより安くなっているかどうかが重要だろ

画像の説明文

コメント(19)  
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1: コロちゃん(神奈川県) [JP] 2021/10/19(火) 12:53:04.44 ID:fjxbJ+Bf0● BE:128776494-2BP(10500)
半導体、ハンコ製法で逆襲 キオクシア・キヤノン実用へ

先端半導体の回路を描くために不可欠な「露光技術」で日本企業に逆転の目が出てきた。キオクシア、キヤノン、大日本印刷はハンコを押すように回路を形成する「ナノインプリント」を2025年にも実用化する。一部の工程が不要になり、設備投資を数百億円、対象工程の製造コストを最大4割減らせる見込み。露光分野でシェアを奪われてきた日本勢が再び存在感を高められそうだ。

(以下ソース)
https://www.nikkei.com/article/DGXZQOUC10DEC0Q1A910C2000000/

6: コロちゃん(神奈川県) [JP] 2021/10/19(火) 12:55:22.93 ID:fjxbJ+Bf0 BE:128776494-2BP(9500)
大勝利や

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